机译:在低温下空心阴极等离子体辅助的晶体AIN,GaN和AI Ga1-N薄膜的原子层沉积
机译:在低温下空心阴极等离子体辅助原子层沉积晶体AlN,GaN和Al_xGa_(1-x)N薄膜
机译:具有基于空心阴极等离子体辅助原子层沉积的GaN沟道的低温薄膜晶体管
机译:中空阴极等离子体辅助原子层沉积法生长AlN薄膜的电导和介电弛豫特性
机译:中空阴极等离子体辅助原子层沉积:低温合成III族氮化物晶体薄膜和纳米结构的新途径
机译:自组装介孔低k电介质上的共形纳米帽层的等离子体辅助原子层沉积。
机译:低温空间原子层沉积工艺制备高透明性和结晶性的氧化锌薄膜
机译:在低温下对晶体AlN,GaN和AlxGa1-xN薄膜进行空心阴极等离子体辅助原子层沉积
机译:二元和三元氧化物薄膜原子层外延低温沉积过程的研究